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ACU20FP
低蒸氣壓質(zhì)量流量控制器
型號(hào)：ACU20FP
產(chǎn)品介紹
    在制造薄膜材料過程中，傳統(tǒng)的液體輸送方法存在固體前驅(qū)體溶解度限制的問題，導(dǎo)致無法輸送足夠的材 料，從而影響生產(chǎn)效率。ACU20FP低蒸氣壓質(zhì)量流量控制器，專為薄膜工藝而設(shè)計(jì)，能夠精確控制固體前驅(qū) 體輸送到化學(xué)氣相沉積(CVD)反應(yīng)器。
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體  高校實(shí)驗(yàn)室  真空鍍膜  光電材料
太陽能  化學(xué)品制造  航空航天  汽車行業(yè) 

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  • 一、產(chǎn)品概述

    ACU20FP采用了先進(jìn)的壓力測量和控制技術(shù)，能夠精確控制固體前驅(qū)體的輸送流量，確保沉積過程的穩(wěn)定性和一致性，從而獲得高質(zhì)量的薄膜材料。此外，ACU20FP擁有多種控制方式和連接接口以滿足多樣化需求。


    二、產(chǎn)品應(yīng)用


    半導(dǎo)體  高校實(shí)驗(yàn)室  真空鍍膜  光電材料
    太陽能  化學(xué)品制造  航空航天  汽車行業(yè) 

    三、產(chǎn)品參數(shù)

    量程范圍 10SCCM～250SCCM
    測控范圍 閥控范圍50:1
    準(zhǔn)確度
    		 ±1%F.S   
    線性
    		 ±0.1%F.S
    重復(fù)精度
    		 ±0.2%F.S
    溫度系數(shù) ±0.02%F.S/℃
    響應(yīng)時(shí)間
    流量控制器：<2s
    數(shù)字量 profibus協(xié)議
    模擬量 0～5V、4-20mA、1～5V
    供電 ±15VDC，24VDC
    工作溫度 0～50℃
    工作壓力 工作壓降：<0.01Mpa
    最大耐壓 3MPa/10MPa
    電氣連接 DB9孔
    漏率 1×10-9Pa m3/S
    溫度系數(shù) ±0.025%F.S/℃
    底座材質(zhì) 不銹鋼
    密封材質(zhì) 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠
    接頭 φ3，φ6，1/8"，1/4"


    四、產(chǎn)品尺寸




    五、可選配套測控軟件 （另外收取費(fèi)用）

            質(zhì)量流量測控系統(tǒng)V5.0